质量流量控制器 SFC5400
针对多种应用的多功能控制器
SFC5400质量流量控制器以优异的精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量，覆盖宽动态测量范围。SFC5400可高度配置，其外壳由金属制成。此外，流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件，测量50 sccm到200 slm的大流量。传感器信号可在芯片上直接转换成100%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外，流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。SFC5400的通用性使之成为了工业和医疗应用的理想解决方案。

SFC5400质量流量控制器与所有传感器产品一样，依赖创新的CMOSens® 技术，在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感器元件及模拟和数字处理电路，可保证优异的性能。配合材料，SFC5400可实现持久稳定、快速和高度的流量控制。

SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性，可用在类似应用当中，SFC5400和SFM5400可组合在一起。在SFM5400网站，您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。

对于大批量的项目，我们可根据您的具体要求调整或开发您需要的质量流量控制器。了解更多关于定制解决方案信息。

质量流量控制器 SFC5400

性能参数
超快速气体流量控制（稳定时间＜100 ms）
超低流量测量时的高精度（＜ 1sccm）
出色的长期稳定性和可靠性
无老化效应
宽动态范围（量程比1000:1）
多气体配置
高配置
源于CMOSens®技术的*性价比
数字和模拟接口
灵活机械连接选项：向下安装、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要，可提供定制版本

应用
分析仪器  （如气相色谱、质谱、热分析）
医疗器械  （如呼吸机、麻醉机）
工业过程自动化  （如涂覆、热处理）
半导体行业  （如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）

应用范围
流量计广泛应用于工农业生产、国防建设、科学研究对外贸易以及人民生活各个领域之中。在石油工业生产中，从石油的开采、运输、炼冶加工直至贸易销售，流量计量贯穿于全过程中，任何一个环节都离不开流量计量，否则将无法保证石油工业的正常生产和贸易交往。在化工行业，流量计量不准确会造成化学成分分配比失调，无法保证产品质量，严重的还会发生生产安全事故。在电力工业生产中，对液体、气体、蒸汽等介质流量的测量和调节占有重要地位。流量计量的准确与否不仅对保证发电厂在运行具有很大的经济意义，而且随着高温高压大容量机组的发展，流量测量已成为保证发电厂安全运行的重要环节。如大容量锅炉瞬时给水流量中断或减少，都可能造成严重的干锅或爆管事故。这就要求流量测量装置不但应做到准确计量，而且要及时地发出报警信号。在钢铁工业生产中，炼钢过程中循环水和氧气(或空气)的流量测量是保证产品质量的重要参数之一。在轻工业、食品、纺织等行业中，也都离不开流量计量。

流量计尽量避开铁磁性物体及具有强电磁场的设备(如大电机、大变压器的等)，以免磁场影响传感器的工作磁场和流量信号。传感器勺转换器间的流量信号线和激磁线。然而从雷电故障中损坏零部件的分析，引起故障的感应高电压和浪涌电流大部分足从控制室电源线路引入的，其他两条途径较少。由于电磁流量计测量含有悬浮固相或污脏体的机会远比其他流量仪表多，出现内壁附着层产生的故障概率也就相对较高。若附着层电导率与液体电导率相近。常见的调试期故障通常由安装不妥。