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德国宝德类型 8741适用于气体的质量流量调节器 /质量流量计

2021-05-31

8741 型必要时可以设置为 MFC 或者 MFM,且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础,Bürkert 特别为涉及多个控制回路(通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动)的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元 (SCU, System Control Unit) 将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中,并驱动所有相连的电子设备。 设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此,8741 型也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。 8741 型借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量(用作 MFM)或者调节(作为 MFC)工作。传感器直接接触气体,因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外,测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准,使其用于测量/调节两种不同的气体,用户可以在这两种气体之间进行切换。

采用 MEMS 技术直接测量流量
测量和重复精度高
反应时间非常之短
现场总线通信基于 CANopen
技术参数
额定流量范围 (Q额定)) 10 mlN/min 至 160 l
N/min (N2)
可调比 50:1,可选 100:1
工作介质 中性,未受到污染的气体, 
根据要求可以使用其他介质
校准介质 工作气体或空气
 大工作压力
(表压)
10 bar (145 psi),对于 MFC,
 高工作压力取决于阀门有效通径
介质温度 -10 °C 至 +70 °C
(-10 °C 至 +60 °C ,氧气)
环境温度 -10 °C 至 +50 °C (根据要求可以适用于更高的温度)
测量精度 ± 0.8 % o.R. ± 0.3 % F.S.
(1分钟预热时间后)
重复精度 ± 0.1 % F.S.
调节时间 (MFC) /
响应时间 (MFM) (t95%)
<300 ms
材料
主体
外壳
密封垫
铝或不锈钢
PC(聚碳酸酯)
FKM 或 EPDM(取决于气体)
管道接口 NPT ?, G ?,压力街头和底板连接,
根据要求可以使用其他方式
执行机构 (比例阀)
阀门标称直径
kVS值
无电流关闭
0.05…8 mm
0.00006…1.1 m3/h
工作电压 24 V DC
电压公差 ±10%
斜波率 ±2%
功率消耗1) 1…3 W (作为 MFM),
 大3…12 W (作为 MFC,取决于比例阀型号)
技术参数
配置存储器
(包括在供货范围
内)
工业 ?SIM 卡用于轻松更换设备
防护等级 IP20
尺寸 参见图纸 5~8 页
总质量 约 500 g(铝主体)
安装位置 水平或竖直
发光二极管显示器 RGB-LED,依据 NAMUR NE107
电气接口 8741 标准型 8741 büS /CANopen
工业以太网 PROFINET,Ethernet/IP,
EtherCAT,Modbus-TCP
通过 2 个 RJ45 (Switch)1)
-
现场总线 - büS (基于 CAN 
的总线)/ CANopen
通过接线端,4 针
模拟
输入端阻抗
 大电流
(电压输出端)
 大Bürde
(电流输出端)
4…20 mA,0…20 mA,
0…10 V 或 0…5 V 通过
D-Sub92) 或接线端,6 针
>20 kΩ(电压),
<300 Ω(电流)
10 mA
600 Ω
-
1) 通过单独接线端供电
2) 在 D-Sub9 模拟规格中,提供附加的数字输入端以及继电器输出端
技术参数, 续
气体  小Q额定
[IN/min]
 大Q额定
[IN/min]
氩气 0,01 160
乙炔 0,01 65
氦气 0,01 1000
二氧化碳 0,02 80
空气 0,01 160
甲烷 0,01 160
丙烷 0,03 44
氧气 0,01 160
氮气 0,01 160
氢 0,01 1000

测量原理:
实际流量由传感器检测。这是根据热学原理进行测量的,该原理的优点是提供了不
依赖于压力和温度的质量流量测量。
主通道中的层流元件产生一个必要的压差,使小部分流量进入旁路通道。旁路管道
内壁上装有带膜的硅芯片,用于测量流量。采用MEMS传感器技术,在这块膜上有
一个加热电阻和两个对称的温度传感器(分别位于上游和下游)。如使加热电阻保
持在一个恒定温度,则两个温度传感器的电压差即可用于测量旁路通道中旁路通道
内流过芯片的气体的质量流量。

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